直驱压电平移台 ║P103是采用压电陶瓷驱动的直驱型压电纳米定位台，压电平移台采用直驱式结构设计，具有大推力、大承载、高动态、小体积的特点，内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平移台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电纳米定位台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。可组合成二维XY向台和三维XYZ向台。压电平移台特点体积小、结构紧凑、易于集成。
机构直驱式压电纳米位移台是采用压电陶瓷直接驱动。
压电陶瓷具有很大的推力及刚度，从而使平台具有很高的运动刚度和推/拉力，同时具有优异的动态性能和承载能力。
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◆ 价格实惠的紧凑型定位系统； ◆ 可提供更小外形尺寸版本； ◆ 可提供组合式XY，XZ，XYZ轴版本； ◆ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度； ◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。 |
● 纳米定位
● 扫描显微镜 ● 测量技术 ● 光子 ● 光纤定位 ● 测试程序和质量保证 |
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型号 |
P103 |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
X |
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- |
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运动和定位 |
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最大行程［-20V~+150V］ |
36 |
μm |
±20% |
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标称行程［0V~+120V］ |
30 |
μm |
±20% |
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开环分辨率［16bit DAC］ |
0.5 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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运动方向刚度 |
25 |
N/μm |
±20% |
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空载谐振频率 |
2.3 |
KHz |
±20% |
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运动方向推/拉力 |
1000/100 |
N |
Max. |
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承载能力 |
100 |
N |
Max. |
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其他 |
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工作温度 |
-20～80 |
℃ |
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材质 |
钢 |
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外形尺寸 |
78x40x20 |
mm |
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重量 |
0.4 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO│D-Sub9 |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
