研生PIEZOXYZ的压电纳米定位台可提供纳米级分辨率和精度以及出色的速度和线性度
压电平台也称为纳米定位台、压电纳米台、压电柔性铰链平台或纳米定位平台。压电平台是一种由压电陶瓷致动器驱动的机械装置，通过柔性铰链运动导向机构支撑传动，提供一个或多个运动轴。纳米定位表示以纳米精度移动和测量的技术。压电平台用于纳米定位应用，它是可以达到纳米级精度水平的运动定位平台。研生PIEZOXYZ设计和制造的使用挠性铰链将移动平台连接到静态底座的系统，当与闭环反馈一起使用时，研生PIEZOXYZ的压电纳米定位台可以提供出色的速度和线性度以及纳米分辨率和精度。
压电陶瓷直驱式结构设计
压电平移台内部采用压电陶瓷直驱式结构设计，具有大推力、大承载、高动态、小体积等特点，结构紧凑、易于集成，可组合成二维XY向台和三维XYZ向台。
无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向
压电纳米位移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
内置电容式精密位移传感器，实现亚纳米分辨率
压电纳米定位台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽，确保纳米定位台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。
采用无磁材质设计制造，不受磁场的影响
压电位移台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。
高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长，性能更稳定，可实现无故障运行1000亿个循环。
直接位置测量带来超高的运动控制精度
位移变化可直接在纳米运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
机构直驱式压电纳米位移台是采用压电陶瓷直接驱动。
压电陶瓷具有很大的推力及刚度，从而使平台具有很高的运动刚度和推/拉力，同时具有优异的动态性能和承载能力。
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◆ 紧凑型定位系统； ◆ 可提供更小外形尺寸版本； ◆ 可提供组合式XY，XZ，XYZ轴版本； ◆ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度； ◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命； ◆ 内置电容式精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。 |
● 纳米定位
● 扫描显微镜 ● 测量技术 ● 光子 ● 光纤定位 ● 测试程序和质量保证 |
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型号 |
P101C |
P102C |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
X |
X |
- |
- |
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运动和定位 |
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传感器类型 |
电容式，直接测量 |
电容式，直接测量 |
- |
- |
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开环行程［-20V~+150V］ |
16 |
32 |
μm |
±20% |
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闭环行程［0V~+120V］ |
12 |
25 |
μm |
±20% |
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开环分辨率 |
0.1 |
0.2 |
nm |
typ. |
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闭环分辨率［16bit DAC］ |
0.2 |
0.4 |
nm |
typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
0.1 |
%F.S. |
typ. |
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重复定位精度 |
±1 |
±2 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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运动方向刚度 |
40 |
20 |
N/μm |
±20% |
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空载谐振频率 |
3.2 |
2.1 |
KHz |
±20% |
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运动方向推/拉力 |
100/10 |
100/10 |
N |
Max. |
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承载能力 |
30 |
30 |
N |
Max. |
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其他 |
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工作温度 |
-20～80 |
-20～80 |
℃ |
- |
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材质 |
钢 |
钢 |
- |
- |
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外形尺寸 |
60x40x15 |
78x40x15 |
mm |
- |
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重量 |
0.25 |
0.35 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
- |
- |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
