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闭环操作 (Closed-Loop Operation)
闭环操作 (Closed-Loop Operation)
集成的位置允许纳米台可以闭环模式运行。测量到达的指定和实际位置并相互比较。控制技术用于到达合适的目标位置，从而实现较高的位置分辨率、均匀的进给速度以及更大的动态速度和加速度范围。넶24 2020-05-08 -
电容传感器 (Capacitive Sensor)
电容传感器 (Capacitive Sensor)，电容传感器允许非接触式测量，不会将过多能量引入压电驱动系统并采用扁平化设计。其直接位置测量消除了漂移对从10微米到约2毫米行程范围的影响。设计包括两个导电表面：高频交流电在两个表面之间产生均匀电场。涵盖定位平台、传感器技术和电子器件的总体系统在性能和精度方面均有所提升。半导体行业的客户也青睐于这种小型和多功能设计以及系统中无热量积聚。
넶27 2020-04-10 -
电容基本负载（内部)
电容基本负载（内部) (Capacitive Base Load (Internal))，对于开关式放大器。即使在没有连接电容负载（压电陶瓷促动器）的情况下，也能稳定输出电压。一个压电陶瓷控制器/驱动器的可能输出功率取决于内部和外部电容负载。
넶24 2020-03-06
