压电平移台【一轴X】

• 1轴行程≤60μm
• 1轴行程≤150μm
• 1轴行程≤300μm
• 1轴行程≤500μm
• 1轴行程≤1000μm
• 1轴行程≤2000μm

压电升降台【一轴Z】

• Z轴行程≤60μm
• Z轴行程≤150μm
• Z轴行程≤300μm
• Z轴行程≤500μm
• Z轴行程≤1000μm

压电旋转台【一轴θz】

• 1轴行程≤1mrad
• 1轴行程≤3mrad
• 1轴行程≤6mrad
• 1轴行程≤10mrad

压电平移台【二轴XY】

• 2轴行程≤50μm
• 2轴行程≤150μm
• 2轴行程≤300μm
• 2轴行程≤500μm
• 2轴行程≤1000μm
• 2轴行程≤2000μm

压电位移台【二轴XZ】

• XZ行程≤50μm
• XZ行程≤150μm
• XZ行程≤300μm
• XZ行程≤500μm

压电偏摆台【二轴θxθy】

• 2轴行程≤5mrad
• 2轴行程≤10mrad
• 2轴行程≤15mrad
• 2轴行程≤25mrad
• 2轴行程≤50mrad
• 2轴行程≤100mrad

压电位移台【三轴XYZ】

• 3轴行程≤50μm
• 3轴行程≤150μm
• 3轴行程≤300μm
• 3轴行程≤500μm

压电偏摆台【三轴Zθxθy】

• 3轴行程≤150μm/≤3mrad
• 3轴行程≤300μm/≤6mrad
• 3轴行程≤500μm/≤12mrad
• 3轴行程≤20μm/≤4mrad
• 3轴行程≤40μm/≤8mrad
• 3轴行程≤80μm/≤16mrad

压电位移台【三轴XYθz】

• 3轴行程≤150μm/1mrad
• 3轴行程≤300μm2mrad
• 3轴行程≤500μm3mrad

压电平台【六轴XYZθxθyθz】

• 6轴行程≤150μm/≤3mrad
• 6轴行程≤300μm/≤6mrad
• 6轴行程≤500μm/≤10mrad

压电陶瓷元件

• 压电陶瓷片
• 压电纤维片
• 叠堆压电陶瓷

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• 直驱型压电促动器
• 放大型压电促动器
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