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超大通光孔径支持大视场物镜,快速释放弯曲夹允许快速物镜更换,适配多种物镜螺纹接口

压电物镜支架具有高达 Ø30 mm 的通光孔径和 500 g (1.1 lbs) 的最大负载,可轻松容纳多光子和共聚焦显微镜中常用的大视场物镜。为了允许在物镜之间轻松切换,压电载物台通过独立的适配器连接到显微镜和物镜上,可快速释放弯曲夹允许快速物镜更换,这种设计选择允许在不断开组件其余部分的情况下移除物镜。适配器可用于 M32 x 0.75、M27 x 0.75、SM1 (1.035"-40)、M26 x 0.706、M25 x 0.75 和 RMS (0.800"-36) 螺纹。

 

压电物镜定位器专为微调焦距和高速 Z-Stack扫描采集而设计

压电物镜定位器专为微调焦距和高速 Z-Stack扫描采集而设计,并且兼容正置、倒置和旋转显微镜。它绕过了传统显微镜中内置的相对较慢的步进电机,它可提供毫秒级典型建立时间实现快速采集和高帧速率,以便快速获得 3D 体积的扫描。内置电容反馈传感器可提供亚纳米分辨率,从而能够对短期和长期漂移进行主动补偿。可应用于高速延时和Z-Stack 成像的自动对焦系统、3D 成像的光学切片、微调焦距、扫描干涉仪、表面轮廓测量和分析、半导体和晶圆检测。

 

无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向

压电物镜扫描器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

 

无摩擦柔性铰链导向与大行程的杠杆放大结构设计相结合

压电物镜扫描台基于压电陶瓷复合放大式结构,压电物镜扫描仪内部采用高精度的无摩擦柔性铰链导向与大行程的杠杆放大结构设计相结合,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,复合式的柔性导向系统具有超高的导向精度、有效消除侧向运动分量,具有高刚性、高动态、大推力、大承载、无摩擦、无磨损、免维护、小体积等特点。

  

内置电容式精密位移传感器,实现亚纳米分辨率

压电物镜扫描仪内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽,在闭环操作时能提供高分辨率,同时主动补偿短期和长期漂移。确保纳米定位台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。

 

 直接位置测量带来超高的运动控制精度

位移变化可直接在纳米运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。超大行程设计最大可达2000微米,满足大行程纳米定位与扫描系统用户需求。

 

纳米级电容位移传感器可达到的精度分辨率是纳米级范围

研生PIEZOXYZ研发生产的纳米级电容位移传感器通过测量使用均匀电场的传感器探头和移动目标表面之间的电容的变化,绝对值通过经调整、校准的系统确定,最小距离偏差通过无接触在长距离基础上测量,可达到的精度分辨率是纳米级范围,可有效测量最短的距离,高分辨率位移测量中的纳米定位应用。通过双极板电容传感器测量移动物体最大精度的直接距离和实际位置。无接触测量高分辨力传感器具有较高的传感器带宽,可满足动态应用中的闭环控制。

                            

  

独立的转接件连接显微镜和物镜,可方便的更换物镜

该压电物镜安装架最大通光孔径为M32,最大负载为500g,它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。为了更方便的更换物镜,安装座分别通过独立的转接件连接显微镜和物镜。这种设计使得可在不需要拆下其它组件的情况下拆卸物镜。转接件可选螺纹接口。

 

采用压电陶瓷驱动的纳米级压电物镜扫描仪

压电物镜扫描器用于精细对焦调节和高速Z轴序列图像采集,应用于显微物镜的大行程纳米定位与扫描系统,结构紧凑、易于集成,它兼容多款显微镜,它避开了集成在显微镜中的相对缓慢的步进电机,从而实现了快速的3D扫描。在三维成像技术、筛选、干涉、计量、自动对焦系统、共聚焦显微镜、半导体测试、生物技术等领域得到广泛应用。

  

采用无磁材质设计制造,不受磁场的影响

压电物镜定位器为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。

  

内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹,具有优异的防潮特性,避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长,性能更稳定,可实现无故障运行1000亿个循环。

 

可提供适用于复杂真空应用版本

压电陶瓷纳米定位系统中使用的所有部件均非常适合于在真空环境中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。压电陶瓷纳米定位系统可实现极低的排气率。

                                                                                     

 

 超大行程400μm;

 用于显微镜物镜的快速纳米定位器和扫描仪;

◆ 结构紧凑,易于集成,分立式螺纹适配器可实现便捷连接;

◆ 与电机式驱动器相比,具有明显更快的响应和更长的使用寿命;

◆ 亚纳米级分辨率的物镜精密定位;

◆ 平行柔性铰链导向可实现最小的物镜偏移;

◆ 零间隙无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性;

◆ 内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命;

◆ 内置电容式精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

 超分辨率显微镜

● 光学圆盘显微镜

● 3D成像

● 筛选

● 干涉测量

● 测量技术

● 自动聚焦系统

● 生物技术

● 半导体测试

显微镜

现代显微任务要求越来越高的图像分辨率以及3D图像扫描系统。除了利用新开发的特殊光学方法(如STED,TIRF...)来获得在生物学领域越来越多的详细信息之外,同时包括其他应用方法:

 

▶自动对焦

▶共聚焦显微镜和三维成像系统

▶服务于现代研究的定位系统如STED;TIRF;DIC;2光子显微镜

▶可集成到几乎所有的主流显微镜的定位系统

                                                                                                    

                                                 

型号

P220C

P221C

P222C

P224C

P228C

单位

公差

主动轴

Z

Z

Z

Z

Z

-

-

运动和定位

 

 

 

 

 

 

 

传感器类型

电容式,直接测量

电容式,直接测量

电容式,直接测量

电容式,直接测量

电容式,直接测量

-

-

开环行程[-20V~+150V]

18

120

250

500

1000

μm

±20%

闭环行程[0V~+120V]

15

100

200

400

800

μm

±20%

开环分辨率

0.2

0.6

1.3

2.5

5

nm

typ.

闭环分辨率[16bit DAC]

0.3

1.6

3.1

6.2

13

nm

typ.

闭环线性度

0.1

0.03

0.03

0.03

0.03

%F.S.

typ.

重复定位精度

±2

±2

±3

±5

±10

nm

typ.

机械特性

 

 

 

 

 

 

 

运动方向刚度

1.5

0.5

0.35

0.25

0.1

N/μm

±20%

空载谐振频率

1150

650

520

400

230

Hz

±20%

谐振频率@150g

480

280

210

160

100

Hz

±20%

运动方向推/拉力

100/20

100/20

100/20

100/20

100/20

N

Max.

其他

 

 

 

 

 

 

 

工作温度

10~70

10~70

10~70

10~70

10~70

-

材质

钢,铝

钢,铝

钢,铝

钢,铝

钢,铝

-

-

最大物镜直径

39

39

39

39

39

mm

Max.

最大物镜重量

200

200

200

200

200

g

Max.

重量

0.3

0.3

0.4

0.4

0.5

Kg

±5%

线缆长度

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

m

±10mm

连接器类型

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

LEMO│SMB

-

-

注:最大驱动电压为-20V...+150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压为0V...+120V。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统,系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。

配套控制器

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