压电物镜位移器 ║P212S是采用压电陶瓷驱动的纳米级定位扫描器，用于显微镜物镜的快速纳米定位器和扫描仪，压电物镜位移器设计用于精细对焦调节和高速Z轴序列图像采集。它兼容多款显微镜，它避开了集成在显微镜中的相对缓慢的步进电机，从而实现了快速的3D扫描。压电物镜扫描器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电物镜位移器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电位移器具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电物镜位移器为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹转接器，可适配多种型号的物镜。广泛应用于三维成像技术、筛选、干涉、计量、磁盘驱动器测试、自动对焦系统、共聚焦显微镜、半导体测试、生物技术等领域。
内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。
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◆ 用于显微镜物镜的快速纳米定位器和扫描仪； ◆ 结构紧凑，易于集成，分立式螺纹适配器可实现便捷连接； ◆ 与电机式驱动器相比，具有明显更快的响应和更长的使用寿命； ◆ 亚纳米级分辨率的物镜精密定位； ◆ 零间隙无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性； ◆ 内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命； ◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。 |
● 超分辨率显微镜 ● 光学圆盘显微镜 ● 3D成像 ● 筛选 ● 干涉测量 ● 测量技术 ● 自动聚焦系统 ● 生物技术 ● 半导体测试 |
| 显微镜 | |
|---|---|
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现代显微任务要求越来越高的图像分辨率以及3D图像扫描系统。除了利用新开发的特殊光学方法（如STED，TIRF...）来获得在生物学领域越来越多的详细信息之外，同时包括其他应用方法：
▶自动对焦 ▶共聚焦显微镜和三维成像系统 ▶服务于现代研究的定位系统如STED；TIRF；DIC；2光子显微镜 ▶可集成到几乎所有的主流显微镜的定位系统 |
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型号 |
P211S |
P212S |
P214S |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
Z |
Z |
Z |
- |
- |
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运动和定位 |
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传感器类型 |
SGS 应变片 |
SGS 应变片 |
SGS 应变片 |
- |
- |
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开环行程［-20V~+150V］ |
120 |
250 |
400 |
μm |
±20% |
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闭环行程［0V~+120V］ |
100 |
200 |
320 |
μm |
±20% |
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开环分辨率 |
0.6 |
1.3 |
2 |
nm |
typ. |
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闭环分辨率［16bit DAC］ |
1.6 |
3.1 |
4.9 |
nm |
typ. |
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闭环线性度 |
0.04 |
0.04 |
0.04 |
%F.S. |
typ. |
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重复定位精度 |
±5 |
±10 |
±16 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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运动方向刚度 |
1.2 |
0.8 |
0.4 |
N/μm |
±20% |
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空载谐振频率 |
510 |
420 |
330 |
Hz |
±20% |
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谐振频率@80g |
300 |
240 |
180 |
Hz |
±20% |
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运动方向推/拉力 |
100/20 |
100/20 |
100/20 |
N |
Max. |
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其他 |
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工作温度 |
10～70 |
10～70 |
10～70 |
℃ |
- |
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材质 |
钢，铝 |
钢，铝 |
钢，铝 |
- |
- |
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外形尺寸 |
40x48x33 |
65x61x35 |
65x61x35 |
mm |
- |
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最大物镜接口 |
M28 |
M32 |
M32 |
- |
Max. |
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最大物镜重量 |
200 |
200 |
200 |
g |
Max. |
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重量 |
0.2 |
0.35 |
0.4 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO│D-Sub9 |
LEMO│D-Sub9 |
LEMO│D-Sub9 |
- |
- |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
