主动轴
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传感器
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运动行程
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分辨率
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线性化
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重复精度
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刚度
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谐振频率
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推/拉力
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负载能力
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开/闭环
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空回
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带宽
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蠕变
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串扰
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滞后
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电容
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偏心度
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柔性铰链导向
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输入电压范围
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最大侧向力
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上升时间
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纹波、噪声
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串联运动
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并联运动
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PZT压电陶瓷
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压电驱动器
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工作限制、保护
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