压电陶瓷Z向纳米台 ║P302Z是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电纳米定位台，压电升降台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电平台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电升降台特点体积小、结构紧凑、易于集成。
内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。
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◆ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度； ◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命； ◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现偏摆最小的直线运动； ◆ 特别适用于光学、医学技术、生物技术和微流体中的OEM应用。 |
● 图像处理/稳定 ● 光学捕获 ● 激光扫描/光束偏转 ● 激光调谐 ● 光学过滤器/开关 ● 光学 ● 激光束稳定 |
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型号 |
P301Z |
P302Z |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
Z |
Z |
- |
- |
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运动和定位 |
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最大直线行程［-20V~+150V］ |
7.5 |
15 |
μm |
±20% |
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标称直线行程［0V~+120V］ |
6 |
12 |
μm |
±20% |
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开环分辨率 |
0.1 |
0.2 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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空载谐振频率 |
9.5 |
5.5 |
KHz |
±20% |
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谐振频率［加载Ф15x4mm玻璃镜片］ |
6.5 |
4.4 |
KHz |
±20% |
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其他 |
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工作温度 |
-20～80 |
-20～80 |
℃ |
- |
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材质 |
钢 |
钢 |
- |
- |
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外形尺寸 |
Ф20x19.5 |
Ф20x28.5 |
mm |
- |
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重量 |
0.1 |
0.1 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO |
LEMO |
- |
- |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
❷ 各运动轴的行程范围相互制约，此表中的数据为单轴可实现的最大行程。
