Z向压电扫描台 ║P520S是采用压电陶瓷驱动的纳米级精密定位压电升降台，Z向压电扫描台内部使用无回差柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。
|
◆ 结构紧凑，低外形，易于集成； ◆ 高刚性设计可实现更高精度和动态性； ◆ 无摩擦柔性铰链并联导向可实现极高的运动精度； ◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命； ◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。 |
● 扫描显微镜 ● 共聚焦显微镜 ● 掩模/晶圆定位 ● 表面测量技术 ● 纳米压印 ● 显微操作 ● 图像处理/稳定 ● 高运动平面度和直线度的纳米定位 |
|
型号 |
P520S |
单位 |
公差 |
|
主动轴 |
Z |
- |
- |
|
运动和定位 |
|
|
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
- |
|
开环行程［-20V~+150V］ |
120 |
μm |
±20% |
|
闭环行程［0V~+120V］ |
100 |
μm |
±20% |
|
开环分辨率 |
0.6 |
nm |
typ. |
|
闭环分辨率［16bit DAC］ |
1.6 |
nm |
typ. |
|
闭环线性度 |
0.05 |
%F.S. |
typ. |
|
重复定位精度 |
±5 |
nm |
typ. |
|
机械特性 |
|
|
|
|
运动方向刚度 |
2.5 |
N/μm |
±20% |
|
空载谐振频率 |
700 |
Hz |
±20% |
|
运动方向推/拉力 |
100/50 |
N |
Max. |
|
承载能力 |
20 |
N |
Max. |
|
其他 |
|
|
|
|
工作温度 |
-20～80 |
℃ |
- |
|
材质 |
铝，钢 |
- |
- |
|
外形尺寸 |
130x130x18 |
mm |
- |
|
通光孔径 |
80x80 |
mm |
- |
|
重量 |
0.55 |
Kg |
±5% |
|
线缆长度 |
1.5 |
m |
±10mm |
|
连接器类型 |
LEMO│D-Sub9 |
- |
- |
|
注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
|||
❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
