二维压电扫描台 ║P400是采用压电陶瓷驱动的压电红外纳米扫描器，压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，红外纳米扫描器具有极佳的运动精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。
压电红外扫描器内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的集成于红外热成像扫描系统中。压电透镜扫描台被广泛应用于红外热成像系统、激光定位、表面扫描、光学扫描、干涉测量等领域。
内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴运动定位系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的动态性设计，可实现快速、高动态和高精密的运动。
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◆ 可提供各种运动行程、外形尺寸、通光孔径版本； ◆ 结构紧凑，低外形，易于集成； ◆ 并联运动设计可实现更高精度和动态性； ◆ 无摩擦柔性铰链并联导向可实现极高的运动精度； ◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命； |
● 光学扫描 ● 纳米定位
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型号 |
P400 |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
X,Y |
- |
- |
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运动和定位 |
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最大行程［-20V~+150V］ |
18x18 |
μm |
±20% |
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标称行程［0V~+120V］ |
15x15 |
μm |
±20% |
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开环分辨率［16bit DAC］ |
0.3 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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运动方向刚度 |
1.5/1.5 |
N/μm |
±20% |
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空载谐振频率 |
1.1/1.1 |
KHz |
±20% |
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运动方向推/拉力 |
40/20 |
N |
Max. |
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承载能力 |
250 |
g |
Max. |
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其他 |
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工作温度 |
-20～80 |
℃ |
- |
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材质 |
铝 |
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外形尺寸 |
58x52x10 |
mm |
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通光孔径 |
25.5x23 |
mm |
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重量 |
0.1 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO |
- |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
