压电物镜位移台设计用于精细对焦调节和高速Z轴序列图像采集。它兼容多款显微镜,它避开了集成在显微镜中的相对缓慢的步进电机,从而实现了快速的3D扫描。内置精密位移传感器使扫描仪在开环操作时能提供高达1nm的分辨率,同时主动补偿短期和长期漂移。每套位移台发货时都附带一台压电控制器,并针对配套的位移台进行过校准。该压电物镜安装架最大通光孔径为M29(P211HS可达M32),最大负载为500 g (1.1 lbs),它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。为了更方便的更换物镜,安装座分别通过独立的转接件连接显微镜和物镜。这种设计使得可在不需要拆下其它组件的情况下拆卸物镜。转接件可选螺纹接口(详见尺寸图)。
压电物镜位移器 ║P211S是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电物镜定位器,用于显微镜物镜的快速纳米定位器和扫描仪,压电物镜定位器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电物镜位移器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电位移器具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电物镜位移器为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹转接器,可适配多种型号的物镜。
◆ 用于显微镜物镜的快速纳米定位器和扫描仪; ◆ 结构紧凑,易于集成,分立式螺纹适配器可实现便捷连接; ◆ 与电机式驱动器相比,具有明显更快的响应和更长的使用寿命; ◆ 亚纳米级分辨率的物镜精密定位; ◆ 平行柔性铰链导向可实现最小的物镜偏移; ◆ 零间隙无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性; ◆ 内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命; ◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。 |
● 超分辨率显微镜 ● 光学圆盘显微镜 ● 3D成像 ● 筛选 ● 干涉测量 ● 测量技术 ● 自动聚焦系统 ● 生物技术 ● 半导体测试 |
显微镜 | |
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现代显微任务要求越来越高的图像分辨率以及3D图像扫描系统。除了利用新开发的特殊光学方法(如STED,TIRF...)来获得在生物学领域越来越多的详细信息之外,同时包括其他应用方法:
▶自动对焦 ▶共聚焦显微镜和三维成像系统 ▶服务于现代研究的定位系统如STED;TIRF;DIC;2光子显微镜 ▶可集成到几乎所有的主流显微镜的定位系统 |
型号 |
P211S |
P212S |
P214S |
单位 |
公差 |
主动轴 |
Z |
Z |
Z |
- |
- |
运动和定位 |
|
|
|
|
|
传感器类型 |
SGS 应变片 |
SGS 应变片 |
SGS 应变片 |
- |
- |
开环行程[-20V~+150V] |
120 |
250 |
400 |
μm |
±20% |
闭环行程[0V~+120V] |
100 |
200 |
320 |
μm |
±20% |
开环分辨率 |
0.6 |
1.3 |
2 |
nm |
typ. |
闭环分辨率[16bit DAC] |
1.6 |
3.1 |
4.9 |
nm |
typ. |
闭环线性度 |
0.04 |
0.04 |
0.04 |
%F.S. |
typ. |
重复定位精度 |
±5 |
±10 |
±16 |
nm |
typ. |
机械特性 |
|
|
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|
运动方向刚度 |
1.2 |
0.8 |
0.4 |
N/μm |
±20% |
空载谐振频率 |
510 |
420 |
330 |
Hz |
±20% |
谐振频率@80g |
300 |
240 |
180 |
Hz |
±20% |
运动方向推/拉力 |
100/20 |
100/20 |
100/20 |
N |
Max. |
其他 |
|
|
|
|
|
工作温度 |
10~70 |
10~70 |
10~70 |
℃ |
- |
材质 |
钢,铝 |
钢,铝 |
钢,铝 |
- |
- |
外形尺寸 |
40x48x33 |
65x61x35 |
65x61x35 |
mm |
- |
最大物镜接口 |
M28 |
M32 |
M32 |
- |
Max. |
最大物镜重量 |
200 |
200 |
200 |
g |
Max. |
重量 |
0.2 |
0.35 |
0.4 |
Kg |
±5% |
线缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
连接器类型 |
LEMO│D-Sub9 |
LEMO│D-Sub9 |
LEMO│D-Sub9 |
- |
- |
注:最大驱动电压为-20V...+150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压为0V...+120V。 |
❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统,系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
【 P211DS 结构尺寸图】