纳米聚焦物镜位移台

纳米聚焦物镜位移台是高速压电驱动设备，可在高达 800 μm 的长行程范围内实现快速聚焦和扫描，并可与大多数显微镜和物镜兼容。典型应用包括表面轮廓测量、高分辨率成像、自动聚焦、扫描干涉测量和共聚焦显微镜。

• 亚纳米压电定位分辨率

• 压电行程范围高达 800 µm

• 用于动态应用的高谐振频率

• 精密的平行四边形设计可最大限度减少光束偏移

压电换能器 (PZT) 堆叠制动器

压电位移台具有高度可靠的多层低压压电换能器 (PZT) 堆叠，针对高占空比操作进行了优化。借助 FEA 建模和精密 EDM 切割的平行四边形、固态弯曲特性，最大程度地降低了图像偏移和倾斜，从而可确保完美的直线运动。精细的导轨还具有可实现的最高刚度，以确保卓越的聚焦稳定性、更高频率的自动聚焦、更短的稳定时间和更快的扫描速度。压电位移台免维护，且不易磨损。

显微镜安装

纳米聚焦位移台安装在转台和显微物镜之间，并且只增加 11.5 mm 的光程长度。所有型号均可用于标准和倒置显微镜。标准螺纹尺寸为 W0.8x1/36"，并与所有研生的物镜兼容。

开环或闭环版本

压电纳米聚焦位移台提供有开环版本（无位置反馈）或带集成位置反馈的闭环版本。对于开环版本，分辨率仅受限于控制电子器件的噪声，但是由于压电陶瓷材料存在滞后和蠕变，其可重复性和稳定性会受到影响。对于电阻应变片式闭环系统（型号以 S 结尾），则具有高分辨率应变计式位置传感器，可实现高精度且可重复的运动。此外，位置反馈补偿了执行机构的蠕变。为了获得最高的位置稳定性和对温度不敏感的最高性能，这些传感器采用了完整的惠斯通电桥设计进行组装。闭环设备可在开环或闭环控制条件下工作。