并联运动压电陶瓷定位系统
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性，从而大幅降低移动质量。优势：并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。由于最小化质量惯性，并联运动系统可提供多达6个水平的自由度和所有轴的高动态。多轴并联运动允许使用直接平行计量，测量所有有关固定参考的移动平台的自由度。例如，由于力的作用而意外的串扰进入不同轴，因此可检测并实时纠正。这种积极的实时校准即使在动态运行时，也可实现纳米范围内的运动精度。