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超精密压电陶瓷纳米定位系统应用
随着科技的不断发展,尽可能提高定位精度是许多应用领域的迫切需求,对科研仪器和工业设备的精度要求不断提高,要求的特征尺寸越来越小,越来越精密,要求的精度从微米至纳米量级,运动控制的精度正在被不断推向极限,普通的运动控制系统已不能满足应用需求,这给超精密定位技术带来了巨大的发展机遇和技术挑战。超精密定位技术已在科研和工业领域中广泛应用,在半导体制造、显微技术、表面测量技术、计量、激光、光电子、光纤、生物技术、制药、医疗、医学工程、生命科学、天文、航天、精密加工及自动化技术等领域,都能够看到超精密定位技术的身影,并解决各种精密定位中的苛刻要求,超精密运动与控制技术是先进制造和前沿科学研究的核心技术之一。
压电定位系统是纳米技术领域基本的研究工具。该领域诸多应用中极高的精度和速度要求使纳米定位系统的作用变得非常关键,例如纳米压印、纳米装配、超高密度数据存储和纳米制造。
除了超快的精密定位机构,高性能的压电控制器可以得到非常高的带宽,也可以消除动态非线性问题,得到非常高的跟踪精度;主动轨迹控制技术可以消除离轴误差;特殊的陷波技术可以消除自激振动,从而达到最快的建立时间。
超精密压电纳米定位系统专业制造商