超精密压电陶瓷纳米定位系统应用
随着科技的不断发展,尽可能提高定位精度是许多应用领域的迫切需求,对科研仪器和工业设备的精度要求不断提高,要求的特征尺寸越来越小,越来越精密,要求的精度从微米至纳米量级,运动控制的精度正在被不断推向极限,普通的运动控制系统已不能满足应用需求,这给超精密定位技术带来了巨大的发展机遇和技术挑战。超精密定位技术已在科研和工业领域中广泛应用,在半导体制造、显微技术、表面测量技术、计量、激光、光电子、光纤、生物技术、制药、医疗、医学工程、生命科学、天文、航天、精密加工及自动化技术等领域,都能够看到超精密定位技术的身影,并解决各种精密定位中的苛刻要求,超精密运动与控制技术是先进制造和前沿科学研究的核心技术之一。
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压电纳米定位定制化解决方案
研生专注于纳米级超精密定位及运动控制技术领域,拥有近十余年的压电纳米定位产品研发与生产工艺的技术经验积累,专业的研发团队能够为用户提供各种类型的纳米级精密定位系统的解决方案,并为客户提供定制化服务,可根据用户实际应用需求进行研发设计与制造,为用户提供最佳的技术解决方案,同时为用户提供及时、周到的技术支持与售后服务。
研生最新研发成果
研生最新研制的三至六维并联式结构纳米级超精密定位压电位移台,内部采用独特的柔性铰链并联式结构设计,所有促动器作用在同一个移动台面上,使台面具有更轻的质量和更低的惯量,相较于串联式结构,并联式结构具有更高的负载、更高的动态性,并解决了诸多串联多轴系统中存在的弊端,具有更优异的运动导向精度。
研生专注于压电纳米定位技术领域
辽宁研生科技有限公司专注于纳米级超精密定位及运动控制技术领域,专业从事压电纳米定位产品的研发、生产与销售。为需求超精密运动控制技术的高校、研究所、企业提供系统的技术解决方案与集成,提供各种一至六维的压电纳米位移台,运动行程可达2000μm,偏转行程可达120mrad,同时研生提供定制化服务,根据客户实际应用进行设计研发与制造。
摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。
在半导体领域,使用基于压电陶瓷的解决方案,包括用于减震的长寿命压电元件,用于定位的超高性能大行程纳米定位平台。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。
随着光刻工艺的发展,如今的芯片变得越来越小,硅晶片上也出现了极为精细的结构。原子力显微镜(AFM)可实现原子级的高分辨率表面测量,为半导体制造领域带来了全新的检测方法。压电陶瓷驱动器凭借出众的性能及可靠性为这些技术进步做出了贡献。
现代电子芯片架构已经缩小到纳米级,在半导体工业生产中基于品质控制及高精度测量的要求,压电驱动器可提供:
▶ 摆动精准定位控制在µm 和nm 级
▶ 快速半导体研究扫描系统
▶ 晶圆支架和晶圆调整装置