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超精密压电陶瓷纳米定位系统应用
随着科技的不断发展,尽可能提高定位精度是许多应用领域的迫切需求,对科研仪器和工业设备的精度要求不断提高,要求的特征尺寸越来越小,越来越精密,要求的精度从微米至纳米量级,运动控制的精度正在被不断推向极限,普通的运动控制系统已不能满足应用需求,这给超精密定位技术带来了巨大的发展机遇和技术挑战。超精密定位技术已在科研和工业领域中广泛应用,在半导体制造、显微技术、表面测量技术、计量、激光、光电子、光纤、生物技术、制药、医疗、医学工程、生命科学、天文、航天、精密加工及自动化技术等领域,都能够看到超精密定位技术的身影,并解决各种精密定位中的苛刻要求,超精密运动与控制技术是先进制造和前沿科学研究的核心技术之一。
在准静态应用中,压电促动器可以提供高驱动力和低功耗甚至零功耗。它们也可以在真空和极低温度下工作,而这往往是航空应用的基本要求。压电偏摆系统用于稳像应用,压电驱动的主动光学镜通过实时校正图像偏离,可以将有效分辨率提升1000%,在弱光源的积分观测中更是大显神威。
压电闭环驱动器能够在真空,低温环境中顺利工作,并且可以被制成非磁性结构。应用于:
▶ 真空高压环境中的精确调校
▶ 低温环境中的定位及运动系统
超精密压电纳米定位系统专业制造商