三维压电位移台 ║P114XYZC

三维压电位移台 ║P114XYZC是采用压电陶瓷驱动的三维纳米级压电平台，压电纳米平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电纳米平台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电平台特点体积小、结构紧凑、易于集成、具有超高性价比的纳米定位系统。

采用压电陶瓷驱动的纳米级精密定位三维压电扫描台

三维压电扫描台内置高性能压电陶瓷，内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，用于高分辨率快速扫描，高性价比的纳米定位系统，压电扫描台结构紧凑、易于集成，三维并联纳米级精密定位压电扫描台非常适合应用于超高精度的精密扫描系统中，可更好的集成于精密定位扫描系统中。

直接位置测量带来超高的运动控制精度

位移变化可直接在纳米运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

可提供适用于复杂真空应用版本

压电陶瓷纳米定位系统中使用的所有部件均非常适合于在真空环境中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。压电陶瓷纳米定位系统可实现极低的排气率。

无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向

压电纳米位移台内部使用无摩擦及空回的高精度柔性铰链并联导向系统，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，可提供超高平面度的纳米扫描，柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

采用无磁材质设计制造，不受磁场的影响

压电纳米位移台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。

内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长，性能更稳定，可实现无故障运行1000亿个循环。

内置电容式精密位移传感器，实现亚纳米分辨率

压电纳米定位台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽，确保纳米定位台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

随着光刻工艺的发展，如今的芯片变得越来越小，硅晶片上也出现了极为精细的结构。原子力显微镜(AFM)可实现原子级的高分辨率表面测量，为半导体制造领域带来了全新的检测方法。压电陶瓷驱动器凭借出众的性能及可靠性为这些技术进步做出了贡献。   现代电子芯片架构已经缩小到纳米级，在半导体工业生产中基于品质控制及高精度测量的要求，压电驱动器可提供：
摆动精准定位控制在µm 和nm 级 快速半导体研究扫描系统 晶圆支架和晶圆调整装置

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。