压电升降台 ║P112ZC

压电纳米台 ║P112ZC是采用压电陶瓷驱动的一维压电纳米定位台，压电纳米台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电升降台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了纳米台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。纳米台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电升降台特点体积小、结构紧凑、易于集成。

内置电容式精密位移传感器，实现亚纳米分辨率

压电纳米显微扫描台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽，确保纳米显微扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

Z 轴压电陶瓷纳米定位平台由带有集成电容位置反馈传感器的机械放大式压电促动器驱动

线性 Z 轴压电陶瓷纳米定位平台，由带有集成电容位置反馈传感器的机械放大压电陶瓷执行器驱动，与匹配的、工厂校准的高精度压电控制器配套使用，以最大限度地提高定位精度。这种设计非常适合需要具有亚纳米可重复性、纳米级定位分辨率以及快速毫秒响应和稳定时间的压电控制大行程范围的应用。这包括激光扫描显微镜、光谱学或干涉测量法。

内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长，性能更稳定，可实现无故障运行1000亿个循环。

直接位置测量带来超高的运动控制精度

位移变化可直接在纳米运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向

压电显微扫描台内部使用无摩擦及空回的高精度柔性铰链并联导向系统，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，可提供超高平面度的纳米扫描，柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

半导体技术
随着光刻工艺的发展，如今的芯片变得越来越小，硅晶片上也出现了极为精细的结构。原子力显微镜(AFM)可实现原子级的高分辨率表面测量，为半导体制造领域带来了全新的检测方法。压电陶瓷驱动器凭借出众的性能及可靠性为这些技术进步做出了贡献。
现代电子芯片架构已经缩小到纳米级，在半导体工业生产中基于品质控制及高精度测量的要求，压电驱动器可提供：   摆动精准定位控制在µm 和nm 级 快速半导体研究扫描系统 晶圆支架和晶圆调整装置

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。