压电促动器 ║P01系列是采用压电陶瓷驱动的平行机构放大型纳米级压电促动器,压电陶瓷促动器使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电促动器具有极佳的运动控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电促动器为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电促动器体积小、结构紧凑、易于集成。

 

压电陶瓷堆叠型促动器的位移通常可达几十微米,最大可达几百微米。柔性铰链导向结构可通过设计,使其作用原理如同一根机械杠杆,对压电陶瓷促动器的位移进行机械放大,必要时将促动器引导至一个不同的方向上。杠杆放大系统的设计十分严苛:一方面,其应防止侧向偏移,另一方面,其应始终沿直线进行导向,杠杆通常是通过一个枢轴点进行引导。此外,行程的增大将导致刚度减小。柔性铰链导向可通过设计,使其进一步集成无需额外导向。柔性铰链结构是用作导向和杠杆系统,在具有更高集成度的压电陶瓷系统中作用也是如此。

 

内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹,具有优异的防潮特性,避免漏电流增大造成故障,可实现无故障运行1000亿个循环。


零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。

                                                                                     

◆ 价格实惠的紧凑型定位系统;

◆ 可提供各种行程版本

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

◆ 可定制各种外形结构与安装方式;

◆ 特别适用于光学、医学技术、生物技术和微流体中的OEM应用;

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现偏摆最小的直线运动;

◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

● 纳米定位

● 高速切换

● 膜片箝

● 微分配

● 自适应系统技术/自动化

● 光子学/集成光学

● 生物技术

 

型号

P011

P012

P014

单位

公差

主动轴

Z

Z

Z

-

-

运动和定位

 

 

 

 

 

最大行程[-20V~+150V]

120

250

500

μm

±20%

标称行程[0V~+120V]

100

200

400

μm

±20%

分辨率[16bit DAC]

1.6

3.1

6.2

nm

typ.

机械特性

 

 

 

 

 

运动方向刚度

0.3

0.2

0.1

N/μm

±20%

空载谐振频率

900

450

300

Hz

±20%

运动方向推/拉力

40/20

35/15

30/10

N

Max.

其他

 

 

 

 

 

工作温度

-20~80

-20~80

-20~80

-

材质

-

-

外形尺寸

34x21x6

52x21x6

70x21x6

mm

-

重量

30

40

55

g

±5%

线缆长度

1.5

1.5

1.5

m

±10mm

连接器类型

LEMO

LEMO

LEMO

-

-

注:最大驱动电压为-20V...+150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压为0V...+120V。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统,系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。

配套控制器

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