压电旋转台 ║P614C

研生PIEZOXYZ的压电纳米定位台可提供纳米级分辨率和精度以及出色的速度和线性度

压电平台也称为纳米定位台、压电纳米台、压电柔性铰链平台或纳米定位平台。压电平台是一种由压电陶瓷致动器驱动的机械装置，通过柔性铰链运动导向机构支撑传动，提供一个或多个运动轴。纳米定位表示以纳米精度移动和测量的技术。压电平台用于纳米定位应用，它是可以达到纳米级精度水平的运动定位平台。研生PIEZOXYZ设计和制造的使用挠性铰链将移动平台连接到静态底座的系统，当与闭环反馈一起使用时，研生PIEZOXYZ的压电纳米定位台可以提供出色的速度和线性度以及纳米分辨率和精度。

内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长，性能更稳定，可实现无故障运行1000亿个循环。

直接位置测量带来超高的运动控制精度

位移变化可直接在纳米运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

可提供适用于复杂真空应用版本

压电陶瓷纳米定位系统中使用的所有部件均非常适合于在真空环境中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。压电陶瓷纳米定位系统可实现极低的排气率。

采用压电陶瓷驱动的纳米级精密定位压电旋转台

压电旋转台内部使用无回差柔性铰链导向结构，内置高性能压电陶瓷，专为精密旋转扫描定位系统应用设计，用于高分辨率快速扫描，高性价比的纳米定位系统，结构紧凑、易于集成，压电旋转台非常适合应用于超高精度的旋转定位系统中，可更好的集成于各类精密旋转定位应用中。

内置电容式精密位移传感器，实现亚纳米分辨率

压电纳米定位台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽，确保纳米定位台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向

压电纳米位移台内部使用无摩擦及空回的高精度柔性铰链并联导向系统，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，可提供超高平面度的纳米扫描，柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

采用无磁材质设计制造，不受磁场的影响

压电纳米位移台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。