Z向压电显微扫描台 ║P261C

内置电容式精密位移传感器，实现亚纳米分辨率

压电纳米显微扫描台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽，确保纳米显微扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

Z 轴压电陶瓷纳米定位平台由带有集成电容位置反馈传感器的机械放大式压电促动器驱动

线性 Z 轴压电陶瓷纳米定位平台，由带有集成电容位置反馈传感器的机械放大压电陶瓷执行器驱动，与匹配的、工厂校准的高精度压电控制器配套使用，以最大限度地提高定位精度。这种设计非常适合需要具有亚纳米可重复性、纳米级定位分辨率以及快速毫秒响应和稳定时间的压电控制大行程范围的应用。这包括激光扫描显微镜、光谱学或干涉测量法。

内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长，性能更稳定，可实现无故障运行1000亿个循环。

并联式结构设计实现大承载、高精度、高动态的多轴并联运动

压电扫描平台采用独特的并联式结构设计，结构紧凑。在并联多轴运动定位系统中，所有促动器作用于同一个运动平台，使所有轴具有最小的质量惯性和相同的动态性设计，使整体运动面具有更轻的质量和更低的惯量，可实现快速、高动态和高精密的多轴运动且每轴具有相同的动态性。相较于串联式压电扫描台，并联式压电扫描台具有更高的负载、更高的动态性和更优的运动精度。

采用压电陶瓷驱动的纳米级Z轴压电显微扫描台

压电显微扫描平台内置高性能压电陶瓷，专为显微扫描系统应用设计，用于高分辨率显微镜的高性价比纳米定位系统，结构紧凑、易于集成，压电显微扫描台非常适合应用于超高精度的显微扫描系统中，超大中空式超薄设计，中央通光孔较大，专为安放载玻片或样品皿设计，可更好的集成于显微及扫描系统中。通过优化设计，更好的匹配主流制造商设计的产品，用于显微扫描、跟踪、高分辨率显微镜、倒置显微镜、共聚焦显微镜、筛选、三维成像、生物技术、干涉和计量等领域。

压电显微镜载物台为 Z 轴切片或 3D 图像采集等应用提供3D定位解决方案

压电显微镜载物台系统为 Z 轴切片或 3D 图像采集（包括激光扫描显微镜）等应用提供 3D 定位解决方案。它提供主动反馈以补偿热变化和其他可能导致平台漂移的因素。闭环主动反馈可确保正确定位，具有亚纳米级的可重复性和Z轴分辨率，使压电陶瓷纳米显微载物台系统成为需要高精度聚焦控制的应用的理想选择。

直接位置测量带来超高的运动控制精度

位移变化可直接在纳米运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向

压电显微扫描台内部使用无摩擦及空回的高精度柔性铰链并联导向系统，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，可提供超高平面度的纳米扫描，柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

可提供适用于复杂真空应用版本

压电陶瓷纳米定位系统中使用的所有部件均非常适合于在真空环境中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。压电陶瓷纳米定位系统可实现极低的排气率。

采用无磁材质设计制造，不受磁场的影响

压电纳米扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。