• 回到顶部
  • 0412-2501710
  • 邮箱
  • 微信二维码

三维压电扫描台 ║P125XYZS是采用压电陶瓷驱动的三维压电纳米定位台,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电纳米台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电扫描台特点体积小、结构紧凑、易于集成。中空式设计,可更好的适用显微及扫描应用。

 

内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹,具有优异的防潮特性,避免漏电流增大造成故障,可实现无故障运行1000亿个循环。


零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。

                                                                                     

◆ 价格实惠的紧凑型定位系统;

◆ 可提供更小外形尺寸版本;

 可提供更大通光孔径版本;

◆ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度;

◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

● 表面测量技术

● 纳米压印

● 显微操作

● 图像处理/稳定

● 扫描显微镜

● 超分辨率显微镜

● 掩模/晶圆定位

                                                                                                    

                                                 

型号

P125XYZS

单位

公差

主动轴

X,Y,Z

-

-

运动和定位

 

 

 

传感器类型

SGS,应变片

-

-

开环行程[-20V~+150V]

630x630x630

μm

±20%

闭环行程[0V~+120V]

500x500x500

μm

±20%

开环分辨率

6.4

nm

typ.

闭环分辨率[16bit DAC]

10

nm

typ.

闭环线性度

0.1

%F.S.

typ.

重复定位精度

0.03

%F.S.

typ.

机械特性

 

 

 

运动方向刚度

0.3/0.4/0.6

N/μm

±20%

空载谐振频率

100/100/100

Hz

±20%

运动方向推/拉力

100/10

N

Max.

承载能力

5

N

Max.

其他

 

 

 

工作温度

-20~80

-

材质

铝,钢

-

-

外形尺寸

140x140x35

mm

-

通光孔径

66x66

mm

-

重量

1.3

Kg

±5%

线缆长度

1.5

m

±10mm

连接器类型

LEMO│SMB

-

-

注:最大驱动电压为-20V...+150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压为0V...+120V。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统,系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。

配套控制器

相关产品