二维压电纳米台 ║P114XZS

运动轴

X,Z
传感器类型

SGS 电阻应变片式
标称行程

400μm
结构类型

机构放大式串联结构

产品参数

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研生提供高精度的CAP电容传感器版本纳米定位台，

也提供低成本的SGS电阻应变片版本的纳米定位台。

传感器类型

SGS 电阻应变片

CAP 电容式

测量方式

间接测量，误差大

直接测量，精准

定位精度

0.03%F.S. ~ 0.05%F.S.

以行程100μm为例，

重复精度：30~50nm

0.001%F.S. ~ 0.002%F.S.

以行程100μm为例，

重复精度可达：±1nm

压电纳米台 ║P114XZS是采用压电陶瓷驱动的二维压电纳米定位台，压电纳米台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电陶瓷纳米定位台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。

内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。

◆ 价格实惠的紧凑型定位系统；

◆ 可提供更小外形尺寸版本；

◆ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度；

◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

● 纳米定位

● 干涉测量

● 纳米定位

● 生物技术

● 测试应用

● 半导体技术

● 光纤定位

● 微加工

● 测试程序和质量保证

半导体技术
随着光刻工艺的发展，如今的芯片变得越来越小，硅晶片上也出现了极为精细的结构。原子力显微镜(AFM)可实现原子级的高分辨率表面测量，为半导体制造领域带来了全新的检测方法。压电陶瓷驱动器凭借出众的性能及可靠性为这些技术进步做出了贡献。现代电子芯片架构已经缩小到纳米级，在半导体工业生产中基于品质控制及高精度测量的要求，压电驱动器可提供：摆动精准定位控制在µm 和nm 级快速半导体研究扫描系统晶圆支架和晶圆调整装置

半导体技术

随着光刻工艺的发展，如今的芯片变得越来越小，硅晶片上也出现了极为精细的结构。原子力显微镜(AFM)可实现原子级的高分辨率表面测量，为半导体制造领域带来了全新的检测方法。压电陶瓷驱动器凭借出众的性能及可靠性为这些技术进步做出了贡献。

现代电子芯片架构已经缩小到纳米级，在半导体工业生产中基于品质控制及高精度测量的要求，压电驱动器可提供：

摆动精准定位控制在µm 和nm 级
快速半导体研究扫描系统
晶圆支架和晶圆调整装置

型号	P111XZS	P112XZS	P114XZS	单位	公差
主动轴	X,Z	X,Z	X,Z	-	-
运动和定位
传感器类型	SGS 应变片	SGS 应变片	SGS 应变片	-	-
开环行程［-20V~+150V］	120x120	250x250	500x500	μm	±20%
闭环行程［0V~+120V］	100x100	200x200	400x400	μm	±20%
开环分辨率	0.6	1.3	2.5	nm	typ.
闭环分辨率［16bit DAC］	1.6	3.1	6.2	nm	typ.
闭环线性度	0.05	0.05	0.05	%F.S.	typ.
重复定位精度	±5	±10	±20	nm	typ.
机械特性
运动方向刚度	0.6/0.8	0.5/0.6	0.2/0.2	N/μm	±20%
空载谐振频率	430/380	310/210	180/140	Hz	±20%
运动方向推/拉力	100/10	100/10	100/10	N	Max.
承载能力	10	7	5	N	Max.
其他
工作温度	-20～80	-20～80	-20～80	℃	-
材质	铝，钢	铝，钢	铝，钢	-	-
外形尺寸	40x40x20	60x60x30	80x80x35	mm	-
重量	0.25	0.35	0.5	Kg	±5%
线缆长度	1.5	1.5	1.5	m	±10mm
连接器类型	LEMO│D-Sub9	LEMO│D-Sub9	LEMO│D-Sub9	-	-
注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。