直驱压电平移台 ║P103

直驱压电平移台 ║P103是采用压电陶瓷驱动的直驱型压电纳米定位台，压电平移台采用直驱式结构设计，具有大推力、大承载、高动态、小体积的特点，内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平移台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电纳米定位台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。可组合成二维XY向台和三维XYZ向台。压电平移台特点体积小、结构紧凑、易于集成。

机构直驱式压电纳米位移台是采用压电陶瓷直接驱动。

压电陶瓷具有很大的推力及刚度，从而使平台具有很高的运动刚度和推/拉力，同时具有优异的动态性能和承载能力。

 ❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。