压电微分头 ║P080S

压电微分头 ║P080S是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电微调千分尺，是将微分头与可产生高分辨率纳米位移的压电陶瓷促动器相结合，通过手动调节微分头可实现13mm或更大范围的位移，再通过压电控制器控制压电促动器实现120μm行程的高分辨率的纳米量级的位移，从而达到应用需求的预定位置，压电促动器使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高分辨、无磨损、免维护等特点，压电促动器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电微分头具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电促动器为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电微分头体积小、结构紧凑、易于集成。压电微分头被广泛应用于光学元件的微调整、微装配、显微光学、纳米定位、生物技术、微加工、微操作等领域。

内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。