压电微分头 ║P080S是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电微调千分尺，是将微分头与可产生高分辨率纳米位移的压电陶瓷促动器相结合，通过手动调节微分头可实现13mm或更大范围的位移，再通过压电控制器控制压电促动器实现120μm行程的高分辨率的纳米量级的位移，从而达到应用需求的预定位置，压电促动器使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高分辨、无磨损、免维护等特点，压电促动器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电微分头具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电促动器为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电微分头体积小、结构紧凑、易于集成。压电微分头被广泛应用于光学元件的微调整、微装配、显微光学、纳米定位、生物技术、微加工、微操作等领域。
内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。
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◆ 价格实惠的紧凑型定位系统； ◆ 可提供各种行程版本； ◆ 可提供更小外形尺寸版本； ◆ 可定制各种外形结构与安装方式； ◆ 无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现极高的运动精度； ◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性； ◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。 |
● 纳米定位 ● 质量控制 ● 自动化 ● 光学元件的微调 ● 微装配
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型号 |
P080S |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
X |
- |
- |
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运动和定位 |
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宏动行程@千分尺 |
13 |
mm |
typ. |
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分辨率@千分尺 |
10 |
μm |
typ. |
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传感器类型 |
SGS |
- |
- |
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压电最大行程［-20V~+150V］ |
120 |
μm |
±20% |
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压电标称行程［0V~+120V］ |
100 |
μm |
±20% |
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压电开环分辨率 |
1.3 |
nm |
typ. |
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压电闭环分辨率 |
2 |
nm |
typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
%F.S. |
typ. |
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重复定位精度 |
±5 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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运动方向刚度 |
0.8 |
N/μm |
±20% |
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空载谐振频率 |
560 |
Hz |
±20% |
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运动方向推/拉力 |
50/10 |
N |
Max. |
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其他 |
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工作温度 |
-20～80 |
℃ |
- |
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材质 |
铝，钢 |
- |
- |
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外形尺寸 |
48x24x14 |
mm |
- |
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重量 |
0.12 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO│D-Sub9 |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；长期使用建议驱动电压为0V...+120V。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
