压电偏摆镜 ║P342S

压电偏摆镜 ║P342S是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电陶瓷偏摆镜，压电偏摆镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电偏摆台压电偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电偏摆台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成于光学系统中。可根据用户需求定制固定及出线方式。

内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。

并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴运动定位系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的动态性设计，可实现快速、高动态和高精密的运动。

多轴偏摆系统运动学

研生公司的压电偏摆系统基于所有运动轴在单一移动平台并联运动。该系统可实现比两个单轴串联系统具有更高的线性度，且这种并联结构外形尺寸更加紧凑。压电偏摆镜和压电偏摆平台适用于高动态操作，例如追踪、扫描、图像稳定、消除漂移和振动；同时也适用于光学系统和标本的静态定位。研生的压电偏摆系列产品可使光束偏转至90mrad（甚至更大偏转角）、几微秒的极短响应时间和可达纳弧度范围的分辨率。研生提供多种大范围偏转角的紧凑型激光束偏转控制系统。

差动压电陶瓷驱动的偏摆系统（四脚支架）

压电偏摆镜动力学

压电偏摆系统的最大工作频率取决于它的机械谐振频率。

为了估计系统的有效谐振频率，需计算出反射镜的转动惯量。

圆形反射镜的转动惯量计算公式如下：

矩形反射镜的转动惯量计算公式如下：

带载反射镜的偏摆系统的谐振频率

根据已知的空载偏摆系统的谐振频率及转动惯量(参见 >> 产品技术参数)和计算得出的反射镜转动惯量，可通过如下公式计算得出整个偏摆系统的谐振频率。

带载反射镜的偏摆系统的谐振频率计算公式如下：

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。