二维压电扫描台 ║P400

二维压电扫描台 ║P400是采用压电陶瓷驱动的压电红外纳米扫描器，压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，红外纳米扫描器具有极佳的运动精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

压电红外扫描器内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的集成于红外热成像扫描系统中。压电透镜扫描台被广泛应用于红外热成像系统、激光定位、表面扫描、光学扫描、干涉测量等领域。

内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。

并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴运动定位系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的动态性设计，可实现快速、高动态和高精密的运动。

❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。