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三维压电扫描台 ║P654C
XYθz：400μm 8mrad
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三维压电扫描台 ║P652C
XYθz：200μm 4mrad
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三维压电扫描台 ║P651C
XYθz：100μm 2mrad
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二维压电扫描台 ║P644C
XY：400μm
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二维压电扫描台 ║P642C
XY：200μm
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二维压电扫描台 ║P641C
XY：100μm
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二维压电扫描台 ║P640C
XY：40μm
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压电旋转台 ║P618C
θz：8mrad
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