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纳米定位挠性平台基于柔性铰链形变弯曲导向具有零机械摩擦的独特属性


纳米定位系统使用多层压电致动器驱动,这些致动器由PZT压电陶瓷制成,压电陶瓷会随着施加的电压而膨胀。通过研生精确的电子闭环控制系统来消除PZT压电陶瓷的滞后和蠕变,使压电陶瓷的膨胀与控制信号呈线性关系。研生PIEZOXYZ的纳米定位挠性平台由内置压电叠堆致动器驱动,基于柔性铰链形变弯曲导向具有零机械摩擦的独特属性,精心设计的柔性铰链弯曲部分将每个轴的运动限制在一个方向,这有效地解耦了PZT压电致动器中不需要的运动,从而产生纯粹的一维平移运动。





纳米定位挠性平台基于柔性铰链形变弯曲导向具有零机械摩擦的独特属性

创建时间:2021-06-16 00:00
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