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闭环纳米定位系统内置精密位移传感器,具有优异的稳定性、精度和可重复性


由于在PZT压电致动器中没有影响晶格间距的量子原理,研生的纳米定位平台的步进分辨率仅取决于压电控制器的输入控制信号(模拟或数字)的分辨率,受限于压电驱动控制系统的基本本底噪声。在开环模式下,输出功率驱动模块仅通过放大输入的电压信号来控制纳米定位平台的运动,纳米定位台的位置会带入包括压电致动器蠕变和滞后引起的误差。在闭环模式下,输入电压与来自纳米定位平台内部的位置传感器的电压进行比较,使用比例积分反馈回路,驱动器输出不断调整,以使传感器信号与驱动器的输入信号相匹配。由于传感器信号与绝对位置高度成比例,因此纳米定位器的位置与驱动器输入电压相匹配。消除了蠕变和滞后的影响。在任何需要稳定性、精度和可重复性的纳米定位应用中,闭环系统都是必需的。





闭环纳米定位系统内置精密位移传感器,具有优异的稳定性、精度和可重复性

创建时间:2021-06-08 00:00
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