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压电纳米定位台具有高可靠性、高速运动、零间隙无摩擦、纳米定位精度等优势
压电纳米定位台也称纳米定位台、压电纳米台、压电柔性铰链平台、压电挠性平台,它具有高可靠性可以数十亿次往复循环、高速运动可达毫秒级步进和稳定时间、零间隙无摩擦、平滑线性运动、极低的寄生运动、极好的平面运动、纳米定位精度,具有长期稳定性等优势,并且可在特高压环境中运行,可以采用非磁性材质制造,不产生磁场同时也不受磁场的影响。