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集成的位置允许纳米台可以闭环模式运行。测量到达的指定和实际位置并相互比较。控制技术用于到达合适的目标位置,从而实现较高的位置分辨率、均匀的进给速度以及更大的动态速度和加速度范围。
压电陶瓷位移台 三维压电陶瓷位移台