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电容传感器允许非接触式测量,不会将过多能量引入压电驱动系统并采用扁平化设计。其直接位置测量消除了漂移对从10微米到约2毫米行程范围的影响。设计包括两个导电表面:高频交流电在两个表面之间产生均匀电场。涵盖定位平台、传感器技术和电子器件的总体系统在性能和精度方面均有所提升。半导体行业的客户也青睐于这种小型和多功能设计以及系统中无热量积聚。
压电陶瓷驱动/控制器 二维压电平移台