内置电容式精密位移传感器，实现亚纳米分辨率
压电纳米显微扫描台内置电容式精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽，确保纳米显微扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。
采用压电陶瓷驱动的纳米级Z轴压电显微扫描台
压电显微扫描平台内置高性能压电陶瓷，专为显微扫描系统应用设计，用于高分辨率显微镜的高性价比纳米定位系统，结构紧凑、易于集成，压电显微扫描台非常适合应用于超高精度的显微扫描系统中，超大中空式超薄设计，中央通光孔较大，专为安放载玻片或样品皿设计，可更好的集成于显微及扫描系统中。通过优化设计，更好的匹配主流制造商设计的产品，用于显微扫描、跟踪、高分辨率显微镜、倒置显微镜、共聚焦显微镜、筛选、三维成像、生物技术、干涉和计量等领域。
并联式结构设计实现大承载、高精度、高动态的多轴并联运动
压电扫描平台采用独特的并联式结构设计，结构紧凑。在并联多轴运动定位系统中，所有促动器作用于同一个运动平台，使所有轴具有最小的质量惯性和相同的动态性设计，使整体运动面具有更轻的质量和更低的惯量，可实现快速、高动态和高精密的多轴运动且每轴具有相同的动态性。相较于串联式压电扫描台，并联式压电扫描台具有更高的负载、更高的动态性和更优的运动精度。
无摩擦零间隙的柔性铰链导向系统带来高精度的运动导向
压电显微扫描台内部使用无摩擦及空回的高精度柔性铰链并联导向系统，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，可提供超高平面度的纳米扫描，柔性铰链导向具有高刚性、高负载、无摩擦、无磨损、无需润滑、免维护等特点。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来超高的运动控制精度
位移变化可直接在纳米运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复定位精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障。压电陶瓷促动器比传统式压电促动器的使用寿命更长，性能更稳定，可实现无故障运行1000亿个循环。
采用无磁材质设计制造，不受磁场的影响
压电纳米扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。
可提供适用于复杂真空应用版本
压电陶瓷纳米定位系统中使用的所有部件均非常适合于在真空环境中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。压电陶瓷纳米定位系统可实现极低的排气率。
共聚焦显微镜聚焦面的调整
高分辨率3-D成像
共聚焦显微镜用于活细胞成像，以通过单个细胞或细胞化合物产生虚拟3-D切片和Z向堆叠。它还在皮肤病学中用于对皮肤表面附近的病理性细胞变异进行体内诊断。
基于压电陶瓷的驱动解决方案
基于压电陶瓷的驱动解决方案可在高达数百微米的范围内以几纳米的重复精度定位物镜。随后，各独立的图像相互叠加，从而产生高分辨率的3-D图像。
-
准确Z向定位，用于创建Z向堆叠、3-D图像和切片。
-
随时间推移观察到的过程受益于毫秒范围内的较短稳定时间。
|
◆ 专为显微系统设计，低外形，易于集成； ◆ 可另配显微镜载片支架、培养皿支架或量身定制支架； ◆ 多组压电促动器并联结构设计可实现更高精度和动态性； ◆ 并联运动设计可实现更高精度和动态性； ◆ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度； ◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命； ◆ 内置电容式精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。 |
● 超分辨率显微镜 ● 光学圆盘显微镜 ● 3D成像 ● 筛选 ● 干涉测量 ● 测量技术 ● 自动聚焦系统 ● 生物技术 ● 半导体测试 |
|
型号 |
P271C |
P272C |
P274C |
单位 |
公差 |
|
主动轴 |
Z |
Z |
Z |
- |
- |
|
运动和定位 |
|
|
|
|
|
|
传感器类型 |
电容式，直接测量 |
电容式，直接测量 |
电容式，直接测量 |
- |
- |
|
开环行程［-20V~+150V］ |
120 |
250 |
500 |
μm |
±20% |
|
闭环行程［0V~+120V］ |
100 |
200 |
400 |
μm |
±20% |
|
开环分辨率 |
0.6 |
1.3 |
2.5 |
nm |
typ. |
|
闭环分辨率［16bit DAC］ |
1.6 |
3.1 |
6.2 |
nm |
typ. |
|
闭环线性度 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
%F.S. |
typ. |
|
重复定位精度 |
±3 |
±3 |
±5 |
nm |
typ. |
|
机械特性 |
|
|
|
|
|
|
运动方向刚度 |
1.2 |
0.7 |
0.4 |
N/μm |
±20% |
|
空载谐振频率 |
280 |
220 |
130 |
Hz |
±20% |
|
谐振频率@200g |
220 |
160 |
110 |
Hz |
±20% |
|
运动方向推/拉力 |
50/20 |
50/20 |
50/20 |
N |
Max. |
|
推荐负载 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
Kg |
typ. |
|
其他 |
|
|
|
|
|
|
工作温度 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
℃ |
- |
|
材质 |
铝，钢 |
铝，钢 |
铝，钢 |
- |
- |
|
外形尺寸 |
220.5x138x27.3 |
220.5x138x27.3 |
220.5x150x27.3 |
mm |
- |
|
通光孔径 |
128.5x86.5 |
128.5x86.5 |
128.5x86.5 |
mm |
- |
|
重量 |
0.7 |
0.8 |
0.9 |
Kg |
±5% |
|
线缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
|
连接器类型 |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
LEMO│SMB |
- |
- |
|
注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。 |
|||||
❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
