压电促动器 ║P02系列是采用压电陶瓷驱动的平行机构放大型压电纳米定位促动器，压电促动器使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电促动器具有极佳的运动控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电促动器为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电促动器体积小、结构紧凑、易于集成。
内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹，具有优异的防潮特性，避免漏电流增大造成故障，可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。
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◆ 价格实惠的紧凑型定位系统； ◆ 可提供各种行程版本； ◆ 可提供更小外形尺寸版本； ◆ 可定制各种外形结构与安装方式； ◆ 自适应系统技术中实现力的生成的完美OEM促动器，用于纳米压印过程或机床刀具； ◆ 采用高刚性和零空回构造，无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现偏摆最小的直线运动； ◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性。 |
● 纳米定位 ● 高速切换 ● 膜片箝 ● 微分配 ● 自适应系统技术/自动化 ● 光子学/集成光学 ● 生物技术
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型号 |
P021 |
P022 |
P024 |
P028 |
P029 |
单位 |
公差 |
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主动轴 |
X |
X |
X |
X |
X |
- |
- |
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运动和定位 |
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最大行程［-20V~+150V］ |
120 |
250 |
500 |
1000 |
1800 |
μm |
±20% |
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标称行程［0V~+120V］ |
100 |
200 |
400 |
800 |
1500 |
μm |
±20% |
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分辨率［16bit DAC］ |
1.6 |
3.1 |
6.2 |
13 |
23 |
nm |
typ. |
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机械特性 |
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运动方向刚度 |
2.2 |
1.2 |
0.7 |
0.4 |
0.2 |
N/μm |
±20% |
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空载谐振频率 |
1100 |
520 |
250 |
150 |
70 |
Hz |
±20% |
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运动方向推/拉力 |
120/5 |
120/5 |
120/5 |
120/5 |
120/5 |
N |
Max. |
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其他 |
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工作温度 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
℃ |
- |
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材质 |
钢 |
钢 |
钢 |
钢 |
钢 |
- |
- |
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外形尺寸 |
38x25x20 |
56x28x20 |
92x32x20 |
128x35x20 |
200x50x20 |
mm |
- |
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重量 |
0.08 |
0.15 |
0.35 |
0.55 |
1 |
Kg |
±5% |
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线缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
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连接器类型 |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
- |
- |
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注：最大驱动电压为-20V...+150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压为0V...+120V。标配为开环版本。 |
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❶ 基于无摩擦高精度柔性铰链运动导向的压电陶瓷纳米定位系统，系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。开环分辨率为受系统放大器噪声限制所能达到的典型值。极低的系统定位噪声可获得满行程十万分之一以上的闭环分辨率。
