无限分辨率
压电促动器可将电能与机械能进行直接转换，能实现亚纳米范围内的运动，且没有限制分辨率的摩擦元件。

与真空和洁净空间兼容
压电促动器不会造成磨损也不需要润滑。全瓷绝缘促动器无聚合物涂层，因此非常适用于超高真空应用。

大推力输出
高负载压电促动器可移动几吨的负载，高达300μm的大行程，分辨率达次纳米级。

刚度、负载能力和力量生成
压电促动器大致相当于一个弹簧—质量系统。促动器的刚度取决于陶瓷的弹性模量（约为钢模量的25%）、活性物质的截面和长度以及其他非线性参数。典型促动器的刚度在1至2000N/μm之间，抗压极限为10至100000N。就拉伸应力而言，必需安装施加综合预加载的外壳或外置预加载弹簧。必须采取充分措施保护压电陶瓷不受剪切力、弯曲力以及力矩的影响。

工作电压
两种类型的压电促动器已被确定：整体烧结多层促动器（低压促动器）的工作电压达150V，由20-100μm厚的陶瓷层构成。 
经典高压促动器（大功率促动器）由0.5-1mm厚的陶瓷层构成，工作电压达1000V。对于高压压电陶瓷促动器，制造中可以将其横截面做得更大，与结构更紧凑的整体多层压电促动器相比，其能适用于更大的负载。

位置分辨率
压电陶瓷本身工作时无摩擦，理论上有无限的分辨率。然而，实际工作中，受某些电气和机械因素的影响，实际可实现的分辨率是有限的：
a）传感器和伺服控制电子放大器：放大器的噪声和对电磁干扰的敏感性影响位置稳定性。
b）机械参数：促动器、预加载和传感器的设计和安装精度等因素可能引起微观摩擦，从而影响分辨率和精度。压电促动器可实现亚纳米级的分辨率和稳定性。

无磨损
压电促动器中无齿轮和轴承等运动部件，其位移是基于晶体固态动力学，无磨损。研生科技的压电促动器已通过几十亿次的耐久试验，其特性无明显的变化。

低能耗
即使长时间背负重载，静态操作实际上也不会消耗任何能量。压电促动器的运转很像一个电容器，其不工作时不产生热量。

无磁场
压电效应仅与电场有关，压电促动器不产生磁场也不受磁场影响。

低温操作
即使温度低至0开氏度，压电效应仍正常发挥作用。

快速反应
压电促动器的响应时间可达几微秒，可实现超过10000g的加速度变化率。

行程
线性压电促动器的行程范围通常在几十到几百微米之间，而弯曲促动器可达到几毫米。