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压电促动器 ║VS15_系列封装型压电促动器采用紧凑型机械结构,克服了裸陶瓷在使用中由于端面受力不均、侧面受剪切力、弯矩、扭矩、震动、冲击和惯性力等因素造成压电陶瓷的损坏,使得压电陶瓷的耗损率非常高。并可在不增加外部体积的情况下内部集成高性能传感器,以此来消除压电陶瓷在微纳运动过程中位移输出的迟滞、蠕变和非线性等问题。

压电陶瓷促动器可广泛应用于显微与成像 • 测量/激光技术/光学检测/摩擦学 • 生物科技与生命科学 • 新药设计与医疗技术 • 精密加工(金属、光学、激光切割、金刚石修整) • 半导体技术 • 纳米技术、纳米制造与纳米自动化 • 数据存储技术 • 光电子、通信与集成光学 • 天文与自适应光学 • 航天/图像处理/低温与真空环境等领域。


内置高性能压电陶瓷促动器具有超长使用寿命
压电陶瓷促动器由环氧脂质涂层包裹,具有优异的防潮特性,避免漏电流增大造成故障,可实现无故障运行1000亿个循环。


零间隙无摩擦柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。

                                                                                     

◆ 价格实惠的紧凑型定位系统;

◆ 可提供各种行程版本

◆ 多种外径尺寸可供选择

◆ 亚纳米的分辨率

◆ 亚毫秒的响应时间

◆ 可外置散热片

◆ 高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

● 纳米定位

● 静态和动态精密定位

● 光纤定位

● 激光调谐

● 纳米技术



型号

行程[0V...+150V]

刚度

推/拉力

静电容量

谐振频率

长度L


[μm]±10%

[N/μm]±20%

[N]Max.

[μF]±20%

[KHz]±20%

[mm]±0.5

VS1501

20

120

3500/350

3.6

30

28

VS1502

40

60

3500/350

7.2

20

46

VS1503

60

35

3500/350

11

14

64

VS1504

80

25

3500/350

14

12

82

VS1505

100

20

3500/350

18

10

100

VS1506

120

15

3500/350

21

8

118

VS1507

140

14

3500/350

25

7

136

VS1508

160

13

3500/350

28

6

154

VS1509

180

11

3500/350

33

5

172

VS1510

200

10

3500/350

37

4

190

注:最大驱动电压为-20V...+150V;长期使用建议驱动电压为0V...+120V。

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